Classificação do substrato de carboneto de silício
Mar 11, 2024
De acordo com diferentes propriedades elétricas, substratos de carboneto de silício podem ser divididos em dois tipos: substratos de carboneto de silício semi-isolantes e substratos de carboneto de silício condutores. Substratos de carboneto de silício semi-isolantes são usados principalmente para fabricar dispositivos de radiofrequência de nitreto de gálio. Ao cultivar uma camada epitaxial de nitreto de gálio em um substrato de carboneto de silício semi-isolante, uma pastilha epitaxial de nitreto de gálio à base de carboneto de silício é produzida, que pode ser usada posteriormente para fabricar dispositivos de radiofrequência de nitreto de gálio. Substratos de carboneto de silício condutores são usados principalmente na fabricação de dispositivos de energia. Diferente do processo tradicional de fabricação de dispositivos de energia de silício, dispositivos de energia de carboneto de silício não podem ser fabricados diretamente em substratos de carboneto de silício. É necessário cultivar uma camada epitaxial de carboneto de silício em um substrato condutor para obter uma pastilha epitaxial de carboneto de silício e fabricar vários tipos de dispositivos de energia na camada epitaxial. dispositivo.
